电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6。本发明提出的基于PCB的电磁驱动双向调谐珐珀滤波器具有大的可调谐范围，能大幅度增加器件的工作波段，大幅度减小珐珀滤波器的整体尺寸。通过调节不同子多层线圈内电流的大小和方向可以微调器件的可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时，其制作工艺采用3D打印、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。

主权项

电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6；所述第一可动镜面支撑2与第二可动镜面支撑4之间的间距通过第一间隔层3控制，第二可动镜面支撑4与盖板7之间的间距通过第二间隔层5控制；所述的第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4均分别包括中间的工作镜面及四周的框架，所述第一可动镜面支撑2的中间工作镜面通过第一支撑梁18与所述四周框架连接，所述第二可动镜面支撑4的中间工作镜面通过第二支撑梁19与所述四周框架连接；所述第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4的中间工作镜面上分别有第一薄膜支撑12和第二薄膜支撑10，第一反射镜13制作在第一薄膜支撑12上，第二反射镜11制作在第二薄膜支撑10上；所述第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4的四周框架外周均固定在箱体1上，第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4的四周框架上分别有制作有第一多层线圈16的第一PCB多层板17，和制作有第二多层线圈6的第二PCB多层板20；所述第一多层线圈16和第二多层线圈6均由并联的多个子多层线圈组成，两者的多个子多层线圈位置精确对应；且所述的第一多层线圈16上多个子多层线圈的电流方向一致，第二多层线圈6上多个子多层线圈的电流方向一致；所述盖板7、第二可动镜面支撑4、第一可动镜面支撑2、箱体1上相应位置分别有盖板通光孔8、第二可动镜面支撑通光孔9、第一可动镜面支撑通光孔14、箱体通光孔15。