| 摘要 |
본 발명의 XY 스테이지는 받침대(11)와 테두리 형태의 스테이지(12)와 받침대(11)와 스테이지(12) 사이에 위치하여 스테이지(12)를 XY 방향으로 구동하는 지지 구동부(13, 14, 15, 16 )를 가진다. 지지 구동부(13, 14, 15, 16)는 받침대(11)에 배설된 직선 형태의 제 1 가이드 부재와 제 1 가이드 부재에 적재된 스테이지(12)의 면내 방향에서 제 1 가이드 부재가 연장되어 있는 제 1 가이드 방향으로 이동이 가능한 제 1 플레이트 부재와 제 1 플레이트 부재에 적재된 제 1 가이드 방향과 직교하는 스테이지(12)의 면내 방향인 제 2 가이드 방향으로 연장되어 있는 제 2 가이드 부재와 제 2 가이드 부재에 적재된 스테이지(12)와 일체로 고정 설치되어 제 2 가이드 방향으로 이동이 가능한 제 2 연결부를 갖는 복수의 지지부를 가진다. 복수의 지지부 중 한 쌍의 제 1 지지부(14)는 제 1 가이드 방향인 X 방향에 대향하도록 위치하여 스테이지(12)의 가장자리에 설치되고, 한 쌍의 제 2 지지부(16)는 제 1 가이드 방향인 Y 방향에 대향하도록 위치하여 스테이지(12)의 가장자리에 설치된다. 지지 구동부 (13, 14, 15, 16)는 한 쌍의 제 1 지지부(14) 중 적어도 한쪽 및 한 쌍의 제 2 지지부(16) 중 적어도 한쪽에 설치된 구동 장치 (13f, 15f)를 가지고, 구동 장치 (13f, 15f)는 제 1 플레이트 부재와 제 2 연결부에 연결되어 제 1 플레이트 부재와 제 2 연결부가 제 2 가이드 방향으로 상호 구동이 가능하다. |
