晶片托盘、用于装配晶片托盘的夹具和装配晶片托盘的方法

摘要

本发明涉及一种晶片托盘、用于装配晶片托盘的夹具和装配晶片托盘的方法，所述晶片托盘包括上托盘和下托盘，其中在安置了晶片之后，从下托盘的底表面装配下托盘和上托盘。本发明提供了一种用于装配晶片托盘的夹具，所述晶片托盘包括下托盘和上托盘，所述下托盘包括晶片安置在其上的晶片加载部分，并且所述上托盘以通过晶片暴露开口暴露晶片的方式连接到下托盘，其中，固定螺栓从下托盘的底表面连接到上托盘，所述夹具包括：夹具基座，其包括竖直地开口的基座开口，并且下托盘安置在所述夹具基座上；以及上盖，其连接到夹具基座，同时在当将晶片安置在下托盘的晶片加载部分上之后，上托盘安置在下托盘上的状态下，支撑上托盘的上部。

主权项

一种用于装配晶片托盘的夹具，所述晶片托盘包括下托盘和上托盘，所述下托盘包括晶片安置在其上的晶片加载部分，并且所述上托盘以通过晶片暴露开口暴露晶片的方式连接到下托盘，其中，固定螺栓从下托盘的底表面连接到上托盘，所述夹具包括：夹具基座，其包括竖直地开口的基座开口，并且下托盘安置在所述夹具基座上；以及上盖，其连接到夹具基座，同时在当将晶片加载在下托盘的晶片加载部分上之后，上托盘安置在下托盘上的状态下，支撑上托盘的上部。