基板处理系统

摘要

能够搬送多个垂直地搭载处理对象的基板的基板载体的基板处理系统，且包括：基板移载装置，将基板移载到基板载体；工艺处理装置，以安装于基板载体的基板为处理对象；搬送装置，使基板载体在基板移载装置与工艺处理装置间循环；以及基板载体移载机构，具有连结于搬送装置的分支路、及存储沿分支路移动的基板载体的存储区域，在存储区域中，将基板载体从基板处理系统取出。

主权项

一种基板处理系统，能够搬送多个垂直地搭载处理对象的基板的基板载体，所述基板处理系统的特征在于包括：基板移载装置，将所述基板移载到所述基板载体；工艺处理装置，以安装于所述基板载体的所述基板为处理对象；搬送装置，使所述基板载体在所述基板移载装置与所述工艺处理装置间循环；以及基板载体移载机构，具有连结于所述搬送装置的分支路、及存储沿所述分支路移动的所述基板载体的存储区域，在所述存储区域中，将所述基板载体从所述基板处理系统取出。