槽模涂布方法及设备

摘要

一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，包括基底载体(6)、涂布装置、传感器装置(70)和控制器(80)。基底载体(6)被布置在用于设置所述基底(1)的支架上。所述涂布装置包括能够通过电动机(52，56)相对于彼此相互移动的头侧单元和支撑侧单元(50，55；52)。所述头侧单元包括平移器部件(52)和槽模涂布头(2)。所述支撑侧单元(55)包括所述电动机的定子部件(56)。控制器(80)控制所述电动机(52)以将槽模涂布头定位在期望的距离(Ds)处。所述支撑侧单元(55)具有至少等于所述头侧单元(50)的质量的质量，并且所述支撑侧单元(55)被柔性地联接到所述支架(60)。

主权项

一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，该设备包括：布置在支架上的基底载体(6)，该基底载体(6)被布置为用于提供包括基底表面(1s)的所述基底(1)；涂布装置，该涂布装置包括能够通过至少一个电动机(52，56；56A)相对于彼此相互移动的至少一个头侧单元(50)和至少一个支撑侧单元(55)，所述头侧单元包括所述至少一个电动机的平移器部件(52)和槽模涂布头(2)，所述槽模涂布头(2)包括出流孔口(2a)，涂布流体(3f)从所述出流孔口(2a)流出，其中所述出流孔口(2a)形成狭缝，所述狭缝在使用中沿狭缝方向(y)布置在所述基底表面(1s)的上方，所述至少一个支撑侧单元(55；55A)包括所述至少一个电动机的定子部件(56；56A)；传感器装置(70)，该传感器装置(70)用于沿着横向于所述狭缝方向(y)的平移方向(x)测量所述出流孔口(2a)和所述基底载体的表面或基底表面之间的距离(D)，并用于提供表示所述距离(D)的测量值的感测信号(Dm)；控制器(80)，该控制器(80)用于根据表示所述距离的期望值(Ds)的输入信号(Ds)控制所述至少一个电动机(52,56；56A)，以将所述槽模涂布头定位在具有所述期望值(Ds)的距离处，其中所述至少一个支撑侧单元(55)具有至少等于所述至少一个头侧单元(50)的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元(55)被柔性地联接到所述支架(60)。