基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统及扫描方法

摘要

基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统及扫描方法，该系统包括：一激光器、一呈直线排列的平面透射镜组，平面透射镜数量与待测微悬臂梁阵列传感器上的微悬臂梁数量相等，且每一平面透射镜与水平面形成不同的夹角；该系统通过带动不同夹角的平面透射镜构成一种微距离平行光线发生系统，激光器发出的激光束通过微距离平行光线发生系统对微悬臂梁阵列中每根微悬臂梁自由端进行照射，并利用光电位置敏感探测器对上述光的信号进行检测，实现对微悬臂梁阵列上每根微悬臂梁偏转情况的检测。本发明可以实现利用一个激光器对每根微悬臂梁的照射，消除了由于不同激光器检测时带来的系统误差，实现了精确性更高的检测。

主权项

一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于包括：一用于垂直向下发射激光束的激光器；一固设在水平位移平台侧前方的呈直线排列的平面透射镜组，所述平面透射镜组由第1平面透射镜、第2平面透射镜…和第N平面透射镜组成，所述N与待测传感器微悬臂梁阵列上的微悬臂梁数量M相等，所述平面透射镜与微悬臂梁一一对应；当M为偶数时，所述平面透射镜组第平面透射镜呈水平设置；自第平面透射镜向左呈与水平面角度递增的倾斜设置；自第平面透射镜向右亦呈角度递增的倾斜设置，且与左侧的平面透射镜倾斜方向相反；各平面透射镜之间设置遮光板；所述平面透射镜与水平面形成的锐夹角α(N)满足如下方程组：当M为奇数时，所述平面透射镜组第平面透射镜呈水平设置；自第平面透射镜向左依次呈角度递增的倾斜设置；自第平面透射镜向右亦呈角度递增的倾斜设置，且与左侧的平面透射镜倾斜方向相反；各平面透射镜之间设置遮光板；所述平面透射镜与水平面形成的锐夹角α(N)满足如下方程组：以上式中，α(N)代表第N平面透射镜与水平面形成的锐夹角，β(N)为激光器发射的激光束照射到第N平面透射镜后的出射角；n为平面透射镜的折射率；h为平面透射镜的厚度；M为待测微悬臂梁的数量；N为平面透射镜顺序位；d为待测微悬臂梁的间距。