| 摘要 |
본 발명은 개선된 안정성을 가진 금속 산화물 필름을 형성하기 위한 신규의, 가용성, 멀티-리간드-치환된 금속 산화물 화합물뿐만 아니라, 이것으로 제조된 조성물 및 이의 사용 방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 하기 구조식(I)을 갖는 화합물에 관한 것이다:식 중, M은 금속이고 n은 1 내지 20이며, R, R, R, 및 R중 하나 이상은 i)이고 R, R, R, 및 R중 하나 이상은 ii)이며, 여기서 i)는 2개 이상의 탄소를 가진 규소 보유 유기 모이어티이고, ii)는 유기 모이어티이다. 본 발명은 또한 용매 중에 용해된 구조식(I)의 화합물의 스핀-코팅가능한 조성물에 관한 것이다. 본 발명은 추가적으로 이러한 스핀 코팅가능한 조성물을 사용하여 패턴화된 기판 상에 코팅을 형성하는 공정에 관한 것이다. |
