| 摘要 |
곡선부들을 특징짓는 프리즘 커플링 시스템 및 방법이 개시된다. 커플링 프리즘의 커플링 표면은 커플링 접촉부를 정의하기 위해 곡선부의 곡선 외부 표면과 접촉된다. 측정 광은 커플링 프리즘을 통하여 상기 접촉에 지향되고, 이때 측정 광은 3 mm 이하의 폭을 가진다. 상기 접촉으로부터 반사된 TE 및 TM 모드 스펙트럼들은 디지털 방식으로 캡쳐링된다. 이러한 모드 스펙트럼들은 곡선부의 적어도 하나의 특징, 예를 들면, 응력 프로파일, 압축 응력, 층 깊이, 굴절률 프로파일 및 복굴절을 결정하기 위해 처리된다. |
