一种基于Si-PIN探测器阵列的高分辨率X射线能谱仪

摘要

本发明公开了一种基于Si-PIN探测器阵列的高分辨率X射线能谱仪，能谱仪的探测器选用m行×n列的Si-PIN探测器阵列，每一行探测器共用一个电荷灵敏放大器，共有n列，探测器检测到的X射线经放大器放大后分别被送入时间甄别单元与信号滤波加权单元，形成n路时间信号和单路能量信号。在数字多道脉冲幅度分析器的内部，时间信号与能量信号经离线校正模块和梯形成形模块的处理，提取到精确的脉冲幅值，最终输出X射线的能谱。本发明的有益效果是增大了探测器检测X射线尤其是高能X射线时的探测效率，解决了常规情况下使用探测器阵列时引入较大噪声的问题，提高了信噪比，有效提高了X射线能谱仪的能量分辨率。

主权项

一种基于Si‑PIN探测器阵列的高分辨率X射线能谱仪，其特征在于，所述X射线能谱仪包括Si‑PIN探测器阵列、电荷灵敏放大器阵列、RC有源滤波单元、信号加权单元、时间甄别单元及数字多道脉冲幅度分析器；所述Si‑PIN探测器阵列是由Si‑PIN探测器组合成m行×n列的探测器阵列，所有Si‑PIN探测器阴极相连，每一行Si‑PIN探测器阳极并联，并通过偏置电阻连接高压电源；所述每一行Si‑PIN探测器使用同一个电荷灵敏放大器，不同行间使用的电荷灵敏放大器组成电荷灵敏放大器阵列；Si‑PIN探测器阵列将接收到的X射线转换为电荷信号，并通过电荷灵敏放大器阵列放大后获得核脉冲信号。