OLED显示屏真空干膜装置

摘要

本发明公开了一种OLED显示屏真空干膜装置，其包括：箱体；冷热板，其固定安装于箱体内，冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于箱体的顶部，从箱体的顶部对箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对第一真空泵安装于箱体的底部，从箱体的底部对箱体的内部抽真空。本发明可以使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本，使工业界突破大尺寸OLED显示成为可能。

主权项

OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，包括：箱体；冷热板，其固定安装于所述箱体内，所述冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于所述箱体的顶部，从所述箱体的顶部对所述箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对所述第一真空泵安装于所述箱体的底部，从所述箱体的底部对所述箱体的内部抽真空。