主权项 |
一种晶片长度测量装置,包括第一底座(11)与第二底座(12),其特征在于:第一底座(11)上设有第一支撑杆(13),第一支撑杆(13)为杆状结构,第一支撑杆(13)呈竖直布置,第二底座(12)上设有第二支撑杆(14),第二支撑杆(14)为杆状结构,第二支撑杆(14)呈竖直布置,第二支撑杆(14)与第一支撑杆(13)的端部之间设有导向杆(15),导向杆(15)呈水平布置;导向杆(15)套装有第一滑块(16),第一滑块(16)设有第一滑板(17),第一滑板(17)的上端与第一滑块(16)连接,第一滑板(17)的下端为自由端;导向杆(15)套装有第二滑块(19),第二滑块(19)设有第二滑板(20),第二滑板(20)的上端与第二滑块(19)连接,第二滑板(20)的下端为自由端;导向杆(15)的下方设有载物台(22),载物台(22)呈水平布置,载物台(22)的一端设置在第一支撑柱(23)的端部,第一支撑柱(23)呈竖直布置,载物台(22)的另一端设置在第二支撑柱(24)的端部,第二支撑柱(24)呈竖直布置;第二底座(12)上设有长度测试仪(26),第二滑板(20)的对内朝向面设有红外测距头(25),红外测距头(25)与长度测试仪(26)通过对接线(27)连接。 |