| 发明名称 | 一种用于临时键合的载片结构、键合及解键合方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于临时键合的载片结构，其包括器件晶圆和玻璃载片，所述玻璃载片设有若干穿孔，所述器件晶圆与玻璃载片之间设有由临时键合胶固化而成的键合层。本载片结构结构简单，仅在玻璃载片上开设若干穿孔，即可实现解键的可靠性和低成本。另外，本载片结构的解键合方法无需借助特殊设备，且操作简单、易操作；此外，本载片结构的解键合方法能保证解键合的可靠性，并能降低破片的风险，同时降低经济成本。 | ||
| 申请公布号 | CN105552017A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201511000525.6 | 申请日期 | 2015.12.28 |
| 申请人 | 深圳先进技术研究院 | 发明人 | 孙蓉;张国平;邓立波;刘强;方浩明 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;B32B43/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 巩克栋;侯潇潇 |
| 主权项 | 一种用于临时键合的载片结构，包括器件晶圆和玻璃载片，其特征在于：所述玻璃载片设有若干穿孔，所述器件晶圆与玻璃载片之间设有由临时键合胶固化而成的键合层。 | ||
| 地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 | ||