| 发明名称 | 薄膜晶片调阻的光刻逐列定位控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明采用晶片电阻逐列定位的控制技术，解决了因光学元件非线性导致的光刻不能精确定位的问题。该方法如下：将薄膜晶片电阻基板固定于调阻机工作台上，通过图像传感器采集监视定位影像；根据每颗电阻的X、Y振镜初始位置数组进行初定位；再控制X、Y振镜逐次微量转动到期望位置，记录每颗电阻的X、Y振镜的偏移量到偏差数组中；再计算初始位置与偏移量的代数和得到一行晶片电阻的实际位置数组。这种方法适用于所有的扫描振镜控制激光精确定位的应用场合，适用性强；因为采用的是逐列定位方式，定位精度高，近零误差。 | ||
| 申请公布号 | CN105537759A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201510955022.8 | 申请日期 | 2015.12.17 |
| 申请人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 发明人 | 孙继凤;汤建华;郭晓光;尹录;王巍;孙君实 |
| 分类号 | B23K26/064(2014.01)I;B23K26/364(2014.01)I;G02B26/10(2006.01)I;B23K101/40(2006.01)N | 主分类号 | B23K26/064(2014.01)I |
| 代理机构 | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人 | 王淑秋 |
| 主权项 | 设薄膜晶片电阻基板上分布有尺寸相同的M行N列晶片电阻，根据式(1)、(2)计算每颗晶片电阻宽度对应的X振镜转角增量Δθ<sub>x</sub>和长度对应的Y振镜转角增量Δθ<sub>y</sub>：<img file="FDA0000881449740000011.GIF" wi="502" he="133" /><img file="FDA0000881449740000012.GIF" wi="502" he="133" />其中W为晶片电阻的宽，L为晶片电阻的长，f为聚焦场镜的焦距。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市经开区营口路77号B座 | ||