多层自屏蔽型压电薄膜传感器及制备方法

摘要

本发明的提供的一种多层自屏蔽型压电薄膜传感器及制备方法，绝缘层通过金属电极复合蚀刻装置，复合得到第二电极层、绝缘层和信号层的第一三层复合材料；第二PET层与第一三层复合材料复合在一起，形成四层复合材料；压电薄膜通过金属电极复合蚀刻装置，复合得到压电薄膜和第一地层的二层复合材料；二层复合材料与保护层复合在一起，形成第二三层复合材料；将第二三层复合材料进行电极化；将电极化后的第二三层复合材料和四层复合材料复合在一起。其优点在于生产方式简单，一次性成功，效率高，安全；理论上可生产任意宽度的传感器，使得大面积、超大面积的多层自屏蔽型聚丙烯高分子压电薄膜传感器成为可能。

主权项

一种多层自屏蔽型压电薄膜传感器，其特征在于：包括依次设置的第二PET层、第二电极层、绝缘层、信号层、压电薄膜、第一地层和保护层。