一种石英镀膜摆片性能测试装置

摘要

本发明公开了一种石英镀膜摆片性能测试装置，包括测试平台、定位架及显微镜测试系统，所述定位架与显微镜测试系统固设于所述测试平台上。本发明主要是通过改进传统的接触性测量为非接触型光学辅助性测量，将非精确性测量改进为精确性测量，为摆片在静态下的下垂量提供了准确的测试数值，并通过有关数学公式将比刚度准确地反映出来。该性能测试装置主要用于对惯性导航器件石英挠性加速度计中的重要零件进行性能检测和质量筛选工作。为镀膜摆片能更好地应用在石英挠性加速度计上提供了可靠的性能保障，避免了因为镀膜摆片性能超差而造成的石英挠性加速度计在装配完成之后无法通过例试试验。

主权项

一种石英镀膜摆片性能测试装置，其特征在于，包括测试平台(1)、定位架(2)及显微镜测试系统(3)，所述定位架(2)与显微镜测试系统(3)固设于所述测试平台(1)上。