| 发明名称 | 一种减压扩散炉及载板承载装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种减压扩散炉及载板承载装置，包括箱式电阻炉体、炉门组件和石英反应腔，所述石英反应腔安放于箱式电阻炉体内，且通过炉门组件密封，所述炉门组件的内侧设有与石英反应腔端面紧密贴合的环形密封圈，所述石英反应腔靠近环形密封圈的端部套设风冷降温装置。本发明具有结构简单、高产能等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN105552000A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201510917375.9 | 申请日期 | 2015.12.14 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 发明人 | 刘良玉;彭宜昌;禹庆荣;曹骞;苏卫中 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人 | 周长清 |
| 主权项 | 一种减压扩散炉，其特征在于：包括箱式电阻炉体（3）、炉门组件（4）和石英反应腔（5），所述石英反应腔（5）安放于箱式电阻炉体（3）内，且通过炉门组件（4）密封，所述炉门组件（4）的内侧设有与石英反应腔（5）端面紧密贴合的环形密封圈（45），所述石英反应腔（5）靠近环形密封圈（45）的端部套设风冷降温装置（6）。 | ||
| 地址 | 410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 | ||