摘要 |
검지 상 전극과 위상 비교기 사이의 강압 회로를 필요로 하지 않고, 구동용 입력 전압에 대한 검지용 출력 전압을 감소시킬 수 있는 압전 소자와, 이러한 압전 소자를 포함하는 진동파 모터가 제공된다. 압전 소자(20)는 제1면과 제2면을 갖는 압전 재료를 포함하며, 공통 전극(2)은 제1면에 배치되고 구동 상 전극(3) 및 검지 상 전극(8)은 제2면에 배치된다. 구동 상 전극(3)과 공통 전극(2) 사이에 개재된 압전 재료의 제1 부분의 압전 상수의 절대값 d(1)과 검지 상 전극(8)과 공통 전극(2) 사이에 개재된 압전 재료의 제2 부분의 압전 상수의 절대값 d(2)의 관계는 d(2)<d(1)을 만족한다. 진동파 모터는 이러한 압전 소자를 포함한다. |