光学编码器

摘要

一种光学编码器(10)，包括：光源(11)；分割器(12)，用于对来自光源(11)的光进行分割；受光单元(16)；标尺(13)，其配置在光路上并且沿测量方向能够移动，其中在该标尺的主面上配置光栅；以及偏移衍射光栅(14)，其包括配置在从分割器(12)到受光单元(16)的光路中的多个衍射光栅，其中这多个衍射光栅使分割后的光以不同的相位发生衍射，其中，偏移衍射光栅(14)中的多个衍射光栅(13)配置在与标尺的主面平行的一面中，并且在与测量方向垂直的偏移方向上彼此偏移，以及受光单元(16)包括沿偏移方向配置的多个受光元件(16-11～16-23)。

主权项

一种光学编码器，包括：光源；分割器，用于对来自所述光源的光进行分割；受光单元；标尺，其配置在光路上并且能够沿测量方向移动，其中在所述标尺的主面上配置光栅；以及偏移衍射光栅，其包括配置在从所述分割器到所述受光单元的光路中的多个衍射光栅，其中所述多个衍射光栅使分割后的光以不同的相位发生衍射，其中，所述偏移衍射光栅中的所述多个衍射光栅配置在与所述标尺的所述主面平行的一面中，并且在与所述测量方向垂直的偏移方向上彼此偏移，以及所述受光单元包括沿所述偏移方向配置的多个受光元件。