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Röntgendiffraktionsvorrichtung (1) mit: einer Röntgentopografieeinrichtung (22, 4) zum Bereitstellen einer räumlichen geometrischen Entsprechung eines von einer planaren Region einer Probe (18) abgehenden Röntgenstrahls, um den Röntgenstrahl als einen planaren Röntgentopografen zu detektieren und den Röntgenstrahltopografen als ein Signal auszugeben; einer optischen Bilderfassungseinrichtung (6) zum Empfangen eines Lichtbildes der planaren Region der Probe (18) und zum Ausgeben des Lichtbildes als ein durch die planare Positionsinformation spezifiziertes Signal; einer Video-Syntheseeinrichtung (11, 14) zum Erzeugen synthetisierter Videodaten auf der Basis eines Ausgangssignals von dem Röntgentopografen und eines Ausgangssignals von der optischen Bilderfassungseinrichtung (6); einem Röntgenmesssystem (22, 5) zum Bestrahlen der Probe (18) mit einem Röntgenstrahl innerhalb einer engeren Region, als der Region, in welcher die Probe (18) mit einem Röntgenstrahl in der Röntgentopografieeinrichtung (4, 22) bestrahlt wird, und zum Erfassen eines Röntgenstrahls, der von der Probe (18) zu dieser Zeit abgeht; und einer Proben-Bewegungseinrichtung (19), um die Probe (18) zu veranlassen, eine Translationsbewegung durchzuführen. |
