| 发明名称 | 化学湿制程方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种化学湿制程方法，包括：提供一化学药液；提供一基板，基板具有一反应面以及相对于反应面的一受热面，将反应面接触化学药液；以及加热受热面，借由热传导使反应面温度升高并与化学药液进行化学湿制程反应。借此，以能大幅降低化学药液在被加热后的酸碱值变化，使化学药液能被回收再利用，从而达到减少环境污染并降低成本的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN105552162A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201510686782.3 | 申请日期 | 2015.10.22 |
| 申请人 | 亚智科技股份有限公司 | 发明人 | 王春雅;陈立凯;蓝受龙;陈家达 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人 | 张秋越 |
| 主权项 | 一种化学湿制程方法，其特征在于，包括：提供一化学药液；提供一基板，该基板具有一反应面以及相对于该反应面的一受热面，其中将该反应面接触该化学药液；以及加热该受热面，借由热传导使该反应面温度升高并与该化学药液进行化学湿制程反应。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县中坜市自强三路三号 | ||