热氧化晶圆生成氧化层的方法

摘要

本发明涉及一种热氧化晶圆生成氧化层的方法，包括下列步骤：在炉管内放置需要氧化的晶圆并通过加热器对所述炉管进行加热；向反应器内通入氧气和氢气并混合燃烧；将燃烧后生成的水蒸气和剩余的氧气从所述炉管的进气口通入炉管内；从所述进气口通入氮气以将炉管内的气体从炉管的排气口排出；通入的所述氢气流量的一半加上通入的所述氧气流量等于通入的所述氮气流量。本发明通过重新设计通入的氢气和氧气的流量，使得通入氮气前后炉管内气体的流量保持一致，使得炉管内不同位置的晶圆与水蒸气和氧气反应的时间相等，从而能够获得良好的厚度一致性。

主权项

一种热氧化晶圆生成氧化层的方法，包括下列步骤：在炉管内放置需要氧化的晶圆并通过加热器对所述炉管进行加热；向反应器内通入氧气和氢气并混合燃烧；将燃烧后生成的水蒸气和剩余的氧气从所述炉管的进气口通入炉管内；从所述进气口通入氮气以将炉管内的气体从炉管的排气口排出；通入的所述氢气流量的一半加上通入的所述氧气流量等于通入的所述氮气流量。