固态成像装置和固态成像装置的制造方法

摘要

提供了一种提供有相位差像素的后表面照射型成像装置。在光接收层（14）上的多个阵列中形成用于积累通过对入射光进行光电转换而产生的信号电荷的光电二极管（PD（21）），并且提供有用于控制PD（21）的电极（22）和布线（23）的布线层（13）在入射光的行进方向上形成于光接收层（14）后方。提供了其中形成对称对的倾斜方向的倾斜表面（29a,29b），在光接收层（14）中形成纹理结构（28），在纹理结构（28）中使这些倾斜表面（29a,29b）对应于PD（21）。倾斜表面（29a,29b）使入射光具有与入射到PD的入射角相对应的强度。

主权项

一种固态成像装置，具有：光接收层，所述光接收层具有多个光接收部的布置，用于积累通过对入射光的光电转换而产生的信号电荷；以及布线层，所述布线层在所述入射光的行进方向上形成在所述光接收层后方并且形成有用于控制所述光接收部的电极和布线，所述固态成像装置的特征在于包括：突出和凹陷结构，所述突出和凹陷结构具有交替部署的两种类型的具有对称倾斜方向的倾斜表面，所述突出和凹陷结构设置于所述光接收层中，使得所述倾斜表面中的每一个对应于所述光接收部中的每一个，用于使所述入射光以与入射角相对应的光量进入所述光接收部；朝向彼此的一对所述光接收部，所述一对所述光接收部充当相位差像素。