一种基于共面波导传输线的悬臂梁式风速风向传感器及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于共面波导传输线的悬臂梁式风速风向传感器及其测量方法，该传感器包括衬底，共面波导传输线以及悬臂梁传感部分。共面波导部分包括生长在衬底表面上的两条互相垂直的信号线，四块分立的地线，其中，信号线交叠的部分采用绝缘层进行隔离。悬臂梁传感部分包括四个锚区以及四个悬臂梁，其中，四个锚区位于共面波导传输线的地线上，四个悬臂梁采用相同的特定工艺制备，形成一定的翘曲，可以在风力的作用下产生位移。通过测量两段共面波导传输线的插入损耗，可以实现二维风速风向的检测。该结果不仅结构简单，更无需消耗直流功耗。

主权项

一种基于共面波导传输线的悬臂梁式风速风向传感器，其特征在于：包括衬底(1)、共面波导传输线以及悬臂梁传感部分；所述共面波导传输线包括第一地线(7)，以及互相垂直并相交生长在衬底(1)表面上的第一信号线(2)和第二信号线(3)，所述第一信号线(2)和第二信号线(3)之间的交叠位置设有绝缘层(8)，所述第一地线(7)设置在第一信号线(2)和第二信号线(3)相交形成的任一象限内；所述悬臂梁传感部分包括第一悬臂梁(9)和第二悬臂梁(11)，所述第一悬臂梁(9)的锚区和第二悬臂梁(11)的锚区均位于所述第一地线(7)上，所述第一悬臂梁(9)垂直第二信号线(3)并于第二信号线(3)上方形成翘曲，所述第二悬臂梁(11)垂直第一信号线(2)并于第一信号线(2)上方形成翘曲，所述翘曲在风力的作用下能够改变相对于垂直信号线的距离。