卷对卷柔性衬底光刻方法和装置

摘要

本发明公开了一种卷对卷柔性衬底光刻方法和装置，通过对曝光紫外线传输路径及曝光方式进行设计，从而实现柔性衬底的光刻，而不需要传统柔性衬底需贴附在玻璃基板上光刻以及工艺最后的衬底剥离等工艺步骤，一方面节省了工艺设备成本，另一方面提高生产的良率与生产节拍，本发明制作工艺简单，能有效提高生产节拍，在更低的生产成本的条件下，实现柔性衬底的快速和高质量光刻制造。本发明装置主要由紫外光源、柔性衬底传送系统和光刻胶涂布装置组成，结构简单，使用方便，便于维护和制造。

主权项

一种卷对卷柔性衬底光刻方法，其特征在于，包括如下步骤：a．在柔性衬底涂布光刻胶之后，通过驱动第一定向传动轴将涂布光刻胶的柔性衬底部分传送至衬底薄膜图形制造位置检测器处，通过所述衬底薄膜图形制造位置检测器对衬底边缘的设置的定位Mark进行位置定位，位置定位好后，再将涂布光刻胶的柔性衬底传送至第二定向传动轴；b．开启紫外光源，使曝光紫外线照射到衬底薄膜图形镜片上，设置所述衬底薄膜图形镜片为在所述步骤a中的第二定向传动轴的表面圆柱面的部分弧形曲面镜，所述衬底薄膜图形镜片的形状和尺寸与待制造的柔性衬底光刻图形相同，所述衬底薄膜图形镜片采用透明材料制成，所述衬底薄膜图形镜片的紫外线的透过率在95%以上；c．驱动所述第二定向传动轴，将柔性衬底传送到所述衬底薄膜图形镜片的位置处，使在所述步骤b中的曝光紫外线透过所述衬底薄膜图形镜片，将已经传送到所述第二传动轴上的涂布光刻胶的柔性衬底进行曝光，形成柔性衬底光刻图形；d．在所述步骤c中曝光完成之后，关闭紫外光源，继续驱动所述第二传动轴，将未曝光的其它柔性衬底部分传送至所述第二定向传动轴的所述衬底薄膜图形镜片位置处，再开启紫外光源，继续对柔性衬底进行曝光，形成柔性衬底光刻图形；e．使所述步骤d的工作过程循环进行，按照设定的生产工艺节拍，对柔性衬底的光刻图形进行连续制造。