鳍式场效应管及其形成方法

摘要

一种鳍式场效应管及其形成方法，其中鳍式场效应管的形成方法包括：提供锗化硅基底以及位于锗化硅基底表面的硅基底，且所述锗化硅基底和硅基底包括依次排列的第一区域、第二区域和第三区域；刻蚀第二区域的硅基底以形成若干分立的鳍部，且鳍部之间的排列方向与第一区域、第二区域和第三区域的排列方向相互垂直；刻蚀鳍部两侧的部分厚度的锗化硅基底，在锗化硅基底内形成凹槽；形成横跨鳍部的栅极结构，栅极结构覆盖鳍部的顶部和侧壁，且栅极结构填充满所述凹槽；对第一区域和第三区域的硅基底进行掺杂，形成掺杂区。本发明在提高沟道区载流子迁移率的同时，使得掺杂区表面具有良好形貌，提高鳍式场效应管的电学性能。

主权项

一种鳍式场效应管的形成方法，其特征在于，包括：提供锗化硅基底以及位于锗化硅基底表面的硅基底，且所述锗化硅基底和硅基底包括依次排列的第一区域、第二区域和第三区域；刻蚀所述第二区域的硅基底以形成若干分立的鳍部，且所述鳍部之间的排列方向与第一区域、第二区域和第三区域的排列方向相互垂直；刻蚀所述鳍部两侧的部分厚度的锗化硅基底，在所述锗化硅基底内形成凹槽；形成横跨所述鳍部的栅极结构，所述栅极结构覆盖鳍部的顶部和侧壁，且所述栅极结构填充满所述凹槽；对所述第一区域和第三区域的硅基底进行掺杂，形成掺杂区。