发明名称 一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法
摘要 一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,属于太阳能电池用薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗二氧化锡导电玻璃基片,然后将C<sub>6</sub>H<sub>5</sub>Na<sub>3</sub>O<sub>7</sub>·2H<sub>2</sub>O、Zn(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>、Na<sub>2</sub>S<sub>2</sub>O<sub>3</sub>·5H<sub>2</sub>O放入蒸馏水中,用电沉积法在导电玻璃片上得到前驱体薄膜,自然干燥,放入加有水合联氨的管式炉中,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,其中水合联氨中加有升华硫粉,在密闭管式炉内加热,使前驱体薄膜硫化,最后取出样品进行干燥,得到硫化锌光电薄膜。本发明不需要高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得硫化锌光电薄膜有较好的连续性和均匀性,主相为ZnS相,可以实现低成本大规模的工业化生产。
申请公布号 CN105551935A 申请公布日期 2016.05.04
申请号 CN201510943155.3 申请日期 2015.12.16
申请人 山东建筑大学 发明人 李静;刘科高;许超;徐勇;石磊
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C25D9/04(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤:a.二氧化锡导电玻璃基片的清洗;b.将1.0~2.0份C<sub>6</sub>H<sub>5</sub>Na<sub>3</sub>O<sub>7</sub>·2H<sub>2</sub>O、4.5~9.0份Zn(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>、65.0~130.0份Na<sub>2</sub>S<sub>2</sub>O<sub>3</sub>·5H<sub>2</sub>O放入2700.0~5400.0份的蒸馏水中,使溶液中的物质溶解;c.采用电沉积法将步骤b所述溶液在导电玻璃片上沉积得到前驱体薄膜,自然干燥,得到前驱体薄膜样品;d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,在水合联氨中加入升华硫粉,前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,将前驱体薄膜和水合联氨放入管式炉中;将管式炉加热至250~400℃之间,保温时间3~9h,然后冷却到室温取出;e.将步骤d所得物,进行自然干燥,得到硫化锌薄膜。
地址 250101 山东省济南市临港开发区凤鸣路