| 摘要 |
히터 코일 코팅 장치는 코팅 공정을 수행하기 위한 내부 공간을 가지며, 히터 코일을 수용하는 공정 챔버와, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일의 내부에 배치되어 상기 히터 코일을 지지하는 제1 타겟과, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟과, 상기 공정 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 가스가 플라즈마 상태로 여기되어 상기 제1 타켓 또는 상기 제2 타겟과 충돌하도록 상기 제1 타겟 또는 상기 제2 타겟에 전압을 인가하는 전원부 및 상기 히터 코일의 내측면과 외측면에 막이 각각 증착되도록 상기 전원부가 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 각각 상기 전압을 인가하도록 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 히터 코일 코팅 장치는 상기 히터 코일의 표면 전체를 코팅할 수 있다. |
