供液装置及湿法刻蚀设备

摘要

本实用新型提供一种供液装置及湿法刻蚀设备，所述供液装置包括储液槽、喷嘴、连通喷嘴与储液槽的供液管道以及设置在供液管道上的抽液泵，还包括设置在储液槽中的虹吸腔、连通虹吸腔与喷嘴的虹吸管道、设置在虹吸管道上的虹吸控制阀、连通虹吸腔与抽液泵的细流注入管道以及设置在细流注入管道上的辅助阀，所述细流注入管道连接虹吸腔的一端设置在所述虹吸控制阀与虹吸腔之间的虹吸管道上并与虹吸管道连通，喷嘴的最低点高于虹吸腔的最高点。所述供液装置利用虹吸腔与高处的喷嘴之间的虹吸现象，来对喷嘴周围漏液进行负压虹吸，使其不再滴落，避免造成污染；还利用该虹吸现象使喷嘴中的液体回流至虹吸腔，避免频繁更换倒吸阀的工艺成本。

主权项

一种供液装置，包括储液槽、喷嘴、连通所述喷嘴与所述储液槽的供液管道以及设置在所述供液管道上的抽液泵，其特征在于，所述供液装置还包括设置在所述储液槽中的虹吸腔、连通所述虹吸腔与所述喷嘴的虹吸管道、设置在所述虹吸管道上的虹吸控制阀、连通所述虹吸腔与所述抽液泵的细流注入管道以及设置在所述细流注入管道上的辅助阀，所述细流注入管道连接所述虹吸腔的一端设置在所述虹吸控制阀与所述虹吸腔之间的虹吸管道上并与所述虹吸管道连通，所述喷嘴的最低点高于所述虹吸腔的最高点。