蒸汽收集

摘要

一种用于在润滑剂的物理蒸汽沉积过程中收集冷凝蒸汽的设备，其包括构造成与真空室内的一个或多个蒸汽源相邻放置的封壳。该封壳包括局部包封构造成容纳物体的空间体积的封壳内表面，其中封壳被保持在比该一个或多个蒸汽源低的温度下。封壳的内表面连接到一个或多个排水沟。

主权项

一种用于在润滑剂的物理蒸汽沉积过程中收集冷凝蒸汽的设备，所述设备包括：封壳，所述封壳构造成与真空室内的一个或多个蒸汽源相邻放置，所述封壳构造成保持在比所述一个或多个蒸汽源低的温度下，所述封壳包括：局部包封空间体积的内表面，所述空间构造成容纳物体；以及连接到所述封壳的所述内表面的一个或多个排水沟；在所述一个或多个蒸汽源中的每个蒸汽源与所述封壳之间的一个或多个隔热间隔件。