具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种具有串联结构的MEMS压电矢量水听器，包括：1-3个传感单元和灌封结构，1-3个传感单元被相互垂直放置在灌封结构；其中，每个传感单元包括至少两个压电传感芯片、绝缘板和后置放大电路，至少两个压电传感芯片串联焊接并粘贴在绝缘板，绝缘板被粘贴并电连接在后置放大电路。压电传感芯片包括：质量块、压电单元和复合弹性梁，当有惯性力作用时，复合弹性梁产生形变，使与复合弹性梁相连的压电单元产生电荷。本发明采用压电传感芯片串联结构制备MEMS压电矢量水听器，明显提高了灵敏度，且制备工艺简单。

主权项

具有串联结构的MEMS压电矢量水听器，其特征在于，包括：1‑3个传感单元和灌封结构(d)，所述1‑3个传感单元被相互垂直放置在所述灌封结构(d)；其中，每个传感单元包括至少两个压电传感芯片(a)、绝缘板(b)和后置放大电路(c)，所述至少两个压电传感芯片(a)串联焊接并粘贴在所述绝缘板(b)，所述绝缘板(b)被粘贴并电连接在所述后置放大电路(c)。