发明名称 一种基于共振光隧穿效应的加速度检测器及检测方法
摘要 本发明涉及基于共振光隧穿效应原理制作的加速度检测器及检测方法;提出了一种利用共振光隧穿效应原理上高分辨率的特点,测量加速度的新型结构的加速度检测器;所采用的技术方案为:一种基于共振光隧穿效应的加速度检测器,包括固定框、弹性悬臂梁和质量块,可调光源和光电探测器,利用共振光隧穿效应对质量块微弱移量的变化将会引起透射强度<i>T</i>大的变化量进行检测,以监测到的光透射强度的变化获得位移量大小,实现对微位移量的精确测量。
申请公布号 CN105548610A 申请公布日期 2016.05.04
申请号 CN201510888044.7 申请日期 2015.12.07
申请人 太原理工大学 发明人 菅傲群;段倩倩;魏重光;桑胜波;张文栋;唐军;石云波
分类号 G01P15/00(2006.01)I 主分类号 G01P15/00(2006.01)I
代理机构 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 代理人 杨克
主权项 一种基于共振光隧穿效应的加速度检测器,其特征在于:包括固定框(1)、弹性悬臂梁(2)和质量块(3),所述质量块(3)由半圆柱单元(4)、长方体单元(5)和共振单元(6)组成,半圆柱单元(4)和长方体单元(5)的数量均为两个,共振单元(6)和两个长方体单元(5)连接组成工字形结构,两个长方体单元(5)为工字形结构的两条平行梁,两个半圆柱单元(4)的方形面相对并通过该工字形结构的连接,共振单元(6)与半圆柱单元(4)的方形面平行;半圆柱单元(4)、长方体单元(5)和共振单元(6)之间构成两个空隙为两个隧穿层;所述弹性悬臂梁(2)有四个,四个弹性悬臂梁(2)成十字分布,一端分别连接在两个半圆柱单元(4)的弧形面中央和两个长方体单元(5)的外侧中央,另一端固定在固定框(1)的内壁上;所述固定框(1)上还固定有光源(7)和光电探测器(8);所述光源(7)和光电探测器(8)的固定位置及角度需要满足的条件为:光源(7)发射的光线经一个半圆柱单元(4)的曲面折射后,在该半圆柱单元(4)的平面上以大于全反射角的角度入射,以倏逝波的形式进入谐振腔,在其中共振后,再经过另一半圆柱单元(4)被光电探测器(8)接收。
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