发明名称 真空系统兼容的同轴精密线性推进装置
摘要 一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置,其特征在于,包括:一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件;该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件,该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件,该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构,且形成一容置空间,该波纹管设置在该容置空间内,且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。
申请公布号 CN103996417B 申请公布日期 2016.05.04
申请号 CN201310052836.1 申请日期 2013.02.18
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 武荣庭;郇庆;闫凌昊;高鸿钧
分类号 G12B5/00(2006.01)I 主分类号 G12B5/00(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 梁挥;王颖
主权项 一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置,其特征在于,包括:一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件;该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件,该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件,该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构,且形成一容置空间,该波纹管设置在该容置空间内,且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。
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