发明名称 | 真空系统兼容的同轴精密线性推进装置 | ||
摘要 | 一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置,其特征在于,包括:一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件;该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件,该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件,该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构,且形成一容置空间,该波纹管设置在该容置空间内,且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。 | ||
申请公布号 | CN103996417B | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
申请号 | CN201310052836.1 | 申请日期 | 2013.02.18 |
申请人 | 中国科学院物理研究所 | 发明人 | 武荣庭;郇庆;闫凌昊;高鸿钧 |
分类号 | G12B5/00(2006.01)I | 主分类号 | G12B5/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 梁挥;王颖 |
主权项 | 一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置,其特征在于,包括:一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件;该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件,该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件,该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构,且形成一容置空间,该波纹管设置在该容置空间内,且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。 | ||
地址 | 100190 北京市海淀区中关村南三街8号 |