一种蒸溅镀混合的装置

摘要

一种蒸溅镀混合的装置，所述外腔（1）为封闭式的舱体，所述外腔（1）左端从内到外依次设有收滚筒（8）、支撑轮（6）和放料滚筒（5），本实用新型使得可挠性组件(CIGS/OLED等)的生产制作过程中都在真空的环境中进行，避免受大气中的水气的影响，由于本实用新型是蒸溅镀的混合，所以降低生产线所需要的面积，而且蒸镀与溅镀共享一套真空系统，降低了设备制造成本，其模块化的设计使的设备维修和保养更加容易，而且由于生产过程的连贯也提高了生产的效率。

主权项

一种蒸溅镀混合的装置，它包括外腔、抽真空装置、加热控制装置、监控装置、放料滚筒、支撑轮、配向滚筒、收滚筒、真空线性蒸镀腔、真空磁控溅镀室，所述外腔(1)一侧连接监控装置(4)、抽真空装置(2)和加热控制装置(3)，其特征在于，所述外腔(1)为封闭式的舱体，所述外腔(1)左端从内到外依次设有收滚筒(8)、支撑轮(6)、支撑轮(6)、支撑轮(6)、支撑轮(6)和放料滚筒(5)，所述外腔(1)右端的中间设有配向滚筒(7)，所述收滚筒(8)与配向滚筒(7)之间的外腔(1)中设有若干个腔体，所述腔体内侧设有真空线性蒸镀腔(9)，所述腔体外侧设有真空磁控溅镀室(10)，所述真空线性蒸镀腔(9)外侧设有支撑轮(6)，所述真空磁控溅镀室(10)内侧设有支撑轮(6)。