一种机械传递臂及真空传递腔

摘要

本实用新型提出了一种机械传递臂和真空传递腔,机械传递臂包括第一级驱动装置、第二级驱动装置和第三级驱动装置，根据需求还可设置第四级驱动装置以及更多；其中第一级驱动装置通过一插销与第三级驱动装置连接，实现了相互嵌套的三级机械传递臂的依次伸出，最大伸长量可达850mm以上。本实用新型还提出一种真空传递腔，该真空传递腔内设置有前述的机械传递臂。该装置结构简洁有效，设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性，从而简约了成本，简化了操作，增大了应用的范围。

主权项

一种机械传递臂，其特征在于：其包括第一级驱动装置、第二级驱动装置和第三级驱动装置；所述第一级驱动装置包括：第一驱动导轨(4.1)及与其固定连接的第一机械臂(4.2)；所述第一机械臂(4.2)上设置有第一导向滚轮(4.4)；且两侧外边沿设置有第一导向槽(4.5)；所述第二级驱动装置包括：第二机械臂(4.6)，所述第二机械臂(4.6)内侧设置有第二内导向槽(4.7)，外侧设置有第二外导向槽(4.8)；所述第一导向滚轮(4.4)与第一导向槽(4.5)沿所述第二内导向槽(4.7)移动；所述第三级驱动装置包括：第三驱动导轨(4.10)及与其固定连接的第三机械臂(4.11)；所述第三机械臂(4.11)内侧设置有第三内导向槽(4.12)，所述第二外导向槽(4.8)、第二导向滚轮(4.9)沿所述第三内导向槽(4.12)移动；所述第一驱动导轨(4.1)左端一侧设置有插销凹块(4.3)，所述第三机械臂(4.11)上可滑动地设置有一插销(4.15)，所述插销(4.15)的滑动方向与所述第三机械臂(4.11)的运动方向垂直；所述插销(4.15)一端为锁定端，可插入所述插销凹块(4.3)内，另一端为锁定控制端，所述锁定控制端固定有滚动装置，所述滚动装置沿一滑槽(3.14)运动；所述锁定控制端与所述第三机械臂(4.11)通过弹性部件连接。