| 摘要 |
상류측 공정에서 10매 이상의 1로트의 다면 형성 유리 기판(1)으로부터 10매 이상을 발취해서 검사된 결함 데이터에 의거하여 로트 평균 결함 밀도를 산출하는 제 1 검사 수단(A)과, 상류측 공정의 처리자가 받는 이익과 하류측 공정의 처리자가 받는 손실을 1매의 다면 형성 유리 기판에 존재하는 하자(4)의 개수를 다르게 해서 복수회에 걸쳐서 시산하고, 그것들의 시산 결과에 의거하여 이익이 손실을 상회하고 있을 경우에 있어서의 1매의 다면 형성 유리 기판(1)에 존재하는 결함(4)의 결함 허용 개수를 산출하는 시산 수단(B)과, 1로트의 다면 형성 유리 기판(1)의 전체 수를 검사해서 1매의 다면 형성 유리 기판(1)에 존재하는 결함(4)의 개수를 계수하는 제 2 검사 수단(C)과, 다면 형성 유리 기판(1)의 양부를 판정하는 양부 판정 수단(D)을 구비한다. |
