发明名称 APPARATUS FOR TESTING
摘要 본 발명의 검사 장치는 대상물을 촬영하고 이동 가능한 카메라부가 마련된 검출 유니트를 포함하고, 상기 검출 유니트는 상기 카메라부의 위치를 파악하고, 상기 카메라부의 위치로 상기 대상물의 위치를 획득할 수 있다.
申请公布号 KR101617772(B1) 申请公布日期 2016.05.03
申请号 KR20140020439 申请日期 2014.02.21
申请人 선문대학교 산학협력단 发明人 고국원
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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