- ROBOT FOR IN-VACUUM USE

摘要

로봇은 리소그래피 장치의 진공 챔버 내에 작업물을 위치설정한다. 로봇의 제 1 구성요소는 진공 챔버 내에 배치되어 병진운동 축을 따라 작업물을 위치설정한다. 샤프트는 그것의 대칭 축이 병진운동 축에 대해 수직하도록 제 1 구성요소를 지지하며, 제 2 구성요소는 대칭 축을 중심으로 샤프트를 회전시키고 대칭 축과 평행한 방향으로 샤프트를 이동시킨다. 제 2 구성요소는 샤프트의 주변 표면을 따라 가스를 도입하도록 구성되는 가스 베어링 및 제 2 구성요소 가스 베어링에 의하여 도입되는 가스를 배기시키도록 구성되는 소기 시일을 포함한다. 로봇은 대략 0 내지 200 a.m.u. 범위 내의 탄화수소 분자들의 가스방출을 실질적으로 저감시키거나 제거하며, 따라서 상기 로봇은 극자외(EUV) 포토리소그래피 적용례들에 사용하기에 적합하다.