| 摘要 |
반도체 웨이퍼 상의 관심의 복수의 구조들을 특성화하기 위한 장치 및 방법들이 개시된다. 유동적 및 고정된 임계 파라미터들 및 대응하는 시뮬레이팅된 스펙트럼의 변동 조합들을 갖는 복수의 모델들이 생성된다. 각각의 모델은 미지의 구조들로부터 수집된 스펙트럼에 기초하여 이러한 미지의 구조들에 대한 하나 이상의 임계 파라미터들을 결정하도록 생성된다. 복수의 임계 파라미터들 및 대응하는 알려진 스펙트럼 각각에 대한 복수의 알려진 값들을 포함하는 기준 데이터에 기초하여 모델들 중 어느 하나가 각각의 임계 파라미터와 최상으로 상관되는지가 결정된다. 계측 툴을 이용하여 미지의 구조로부터 획득된 스펙트럼에 대해, 모델들 중 상이한 모델은 기준 데이터에 기초하여 모델들 중 어느 하나가 각각의 임계 파라미터와 최상으로 상관되는지를 결정하는 단계에 기초하여 미지의 구조의 임계 파라미터들 중 상이한 임계 파라미터들을 결정하도록 선택되어 이용된다. |
