| 摘要 |
본 발명은 세라믹 또는 금속 표면 상에 세라믹 필름을 증착하는 방법에 관한 것으로, 특히 서브 마이크로미터 두께의 세라믹 필름, 예를 들어 안정화된 지르코니아(zirconia) 필름 및 CGO(cerium gadolinium oxide)와 같은 도핑된 세리아(ceria) 필름을 증착하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 특히 고온 및 중온(intermediate temperature)에서 작동하는 SOFC(solid oxide fuel cells) 및 450-650 ℃ 범위에서 작동하는 금속 지지체식 중온형 SOFC(metal supported intermediate temperature SOFC) 포함 연료전지의 생산에 유용하다. |
