直立式基板传送装置

摘要

直立式基板传送装置，其包含有一输送机构、一推进机构以及一动力源。该输送机构用来输送一基板。该输送机构包含有一滚轮以及一限位件。该推进机构设置于该输送机构的旁侧。该推进机构包含有一基座、至少一夹持单元、一轨道以及推杆。该夹持单元设置于该基座上，用来抓取该基板。该轨道设置于该基座上。该推杆以可滑行方式设置于该轨道内，其系用来推动该基板以沿着该滚轮移动。该动力源电连接于该输送机构与该推进机构。该动力源系驱动该夹持单元以抓取及松脱该基板，且该动力源另驱动该滚轮旋转及该推杆滑行以移动该基板。

主权项

一种直立式基板传送装置，其包含有：一输送机构，用来输送一基板，该输送机构包含有：一滚轮，该滚轮系用以承载该基板之一下端；以及一限位件，该限位件限位于该基板之一上端；一推进机构，设置于该输送机构的旁侧，该推进机构包含有：一基座；至少一夹持单元，设置于该基座上，该夹持单元用来抓取该基板；一轨道，设置于该基座上；以及一推杆，以可滑行方式设置于该轨道内，该推杆系用来推动该基板以沿着该滚轮移动；以及一动力源，电连接于该输送机构与该推进机构，该动力源系驱动该夹持单元以抓取及松脱该基板，该动力源另驱动该滚轮旋转及该推杆滑行以移动该基板。