一种去除附着于遮罩上的杂质颗粒之方法

摘要

明揭露一种去除附着于遮罩上的杂质颗粒之方法。首先，对接合在固定框架上的金属遮罩上表面，照射第一雷射光，以去除金属遮罩上的复数个杂质颗粒。接着，于固定框架上固定一补强框架，使金属遮罩夹固于固定框架与补强框架之间。于固定补强框架于固定框架上之后，翻转固定在一起的固定框架与补强框架，使金属遮罩的下表面照射一第二雷射光，以去除金属遮罩上残存的杂质颗粒。

主权项

一种去除附着于遮罩上的杂质颗粒之方法，该方法包括：对接合在一固定框架上的一金属遮罩上表面，照射一第一雷射光，以去除该金属遮罩上的复数个杂质颗粒；于该固定框架上固定一补强框架，使该金属遮罩夹固于该固定框架与该补强框架之间；于固定该补强框架于该固定框架上之后，翻转固定在一起的该固定框架与该补强框架，使该金属遮罩的下表面照射一第二雷射光，以去除该金属遮罩上残存的该些杂质颗粒。