原子力显微镜乾燥系统及原子力显微镜

摘要

本发明一可实施于原子力显微镜机台中的乾燥系统，包含一弹性体，其具有弹性且位于原子力显微镜扫描头装置及平台之间以形成一容置空间。样本支撑基板位于容置空间内用以放置试片。进气管从容置空间外部延伸至容置空间内部，藉以将一乾燥用气体通入容置空间内。出气管从容置空间内部延伸至容置空间外部，藉以将乾燥用气体排出容置空间外。藉由使用乾燥气体一进一出的作用机制把容置空间内部的水气排出，把相对湿度(RH)降低至5%以下并维持空间内部恒压以稳定。

主权项

一种具有乾燥功能的原子力显微镜，其包含：一原子力显微镜扫描头装置，用以扫描一试片；一平台；一弹性体，具有弹性，且位于该原子力显微镜扫描头装置及该平台之间以形成一容置空间；一样本支撑基板，位于该容置空间内，用以放置该试片；一进气管，从该容置空间外部延伸至该容置空间内部，具有一进气口连通于该容置空间，藉以将一乾燥用气体通入该容置空间内；及一出气管，从该容置空间内部延伸至该容置空间外部，具有一出气口连通于该容置空间，藉以将该乾燥用气体排出该容置空间外。