药液回收设备及其系统与方法

摘要

药液回收设备及其系统与方法，用于回收药液，药液回收设备包括：一药液槽，用于容纳药液；一回收路径，包含药液集中槽与回流管路，药液集中槽连通回流管路，药液集中槽设于药液槽旁，用以导引一外流药液，外流药液为由药液槽外流的至少部份药液；一回收容器，透过回收路径导引外流药液进入回收容器；一冷却管路，热接触药液槽，并提供冷却流体在冷却管路中流动；以及一冷却机，与冷却管路连通，降温冷却管路内的冷却流体，并驱动冷却流体流动。

主权项

【第1项】一种药液回收设备，用于回收与一基材进行化学制程的药液；该回收设备包括：一药液槽，用于容纳所述药液，且该药液槽具有一开口，该开口提供所述基材与该药液槽内的所述药液进行化学制程；一回收路径，包含药液集中槽与回流管路，该药液集中槽连通该回流管路，该药液集中槽设于该药液槽旁，用以导引一外流药液，该外流药液为由该药液槽外流的至少部份所述药液；一回收容器，透过该回收路径导引所述外流药液进入该回收容器；一冷却管路，热接触该药液槽，并提供冷却流体在该冷却管路中流动；以及一冷却机，与该冷却管路连通，降温该冷却管路内的冷却流体，并驱动所述冷却流体流动。