加工装置

摘要

明之课题在于作成即便是在晶圆以倾斜的状态收容于片匣中的情况下，机械手仍可辨识晶圆，并将晶圆以不使其破损的方式搬出。解决手段为使机械手进入片匣内，解除来自于控制部的翻转马达之控制而将机械手设成可旋转自如并使其往接近晶圆的方向移动，当机械手与晶圆接触且使编码器辨识的角度改变时，即判断为已收容于片匣内的晶圆是倾斜的。由于可藉由检出机械手之旋转来检出晶圆之倾斜，故可防止机械手碰撞晶圆而使晶圆破损的情形。

主权项

一种加工装置，其具备将收容于片匣中的晶圆从片匣搬出之机器人、及对由该机器人搬出的晶圆进行加工之加工机构，在该加工装置中，该机器人具备保持晶圆之机械手、使该机械手所保持的晶圆之表背面翻转之翻转机构、及使该机械手移动至预定的位置之移动机构，该翻转机构具备作为使该机械手所保持的晶圆之表背面翻转时之旋转轴的翻转轴、连结到该翻转轴之翻转马达、驱动该翻转马达之控制部、以及连结于该翻转轴并检出该翻转轴的旋转角度之编码器，又，该加工装置还具备判断部，该判断部在藉由该移动机构使该机械手进入该片匣内并解除来自于该控制部的该翻转马达之控制以使该机械手可旋转自如来使其往接近晶圆的方向移动，而使该机械手与晶圆接触且该编码器所辨识的角度改变时，即判断为已收容于该片匣内的晶圆是倾斜的。