| 发明名称 |
感光化射线性或感放射线性树脂组成物、感光化射线性或感放射线性膜、具备感光化射线性或感放射线性膜之空白遮罩、光罩、图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件 |
| 摘要 |
明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组成物、感光化射线性或感放射线性膜、具备感光化射线性或感放射线性膜之空白遮罩、光罩、图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组成物系含有：在阳离子部包含硷性基团之鎓盐化合物（A）；藉由光化射线或放射线的照射而产生酸之鎓盐化合物（B）；及硷可溶性树脂（C），其中，化合物（B）的阳离子部具有至少1个包含氧原子或氮原子之基团。 |
| 申请公布号 |
TW201616232 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
| 申请号 |
TW104133933 |
申请日期 |
2015.10.16 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 |
发明人 |
望月英宏;高桥孝太郎;川端健志;京田浩和 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F1/20(2012.01);G03F1/22(2012.01);G03F7/038(2006.01);G03F7/30(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
| 主权项 |
一种感光化射线性或感放射线性树脂组成物，其含有： 在阳离子部包含硷性基团之鎓盐化合物（A）； 藉由光化射线或放射线的照射而产生酸之鎓盐化合物（B）；及 硷可溶性树脂（C），前述感光化射线性或感放射线性树脂组成物的特征为， 化合物（B）的阳离子部具有至少1个包含氧原子或氮原子之基团。 |
| 地址 |
日本 |
