化合物、树脂、抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案之制造方法

摘要

明系关于一种由式(I)表示之化合物，

主权项

一种由式(I)表示之化合物，

其中R1表示氢原子、卤素原子或可具有卤素原子之C1至C6烷基；R2表示C1至C12氟化饱和烃基；W1表示C5至C18二价脂环烃基；A1及A2各自独立地表示单键或*-A3-X1-(A4-X2)a-；A3及A4各自独立地表示C1至C6烷二基；X1及X2各自独立地表示-O-、-CO-O-或-O-CO-；a表示0或1；且*表示与氧原子之结合位点。