光阻预烤炉加热器温度控制装置

摘要

作系有关于一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品品质及生产良率。其主要系由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，位于支撑底板上方设有加热器，并可对热板进行加热，而该热板内设置有复数个温度感应器，藉以侦测热板各区域的温度，再利用每一温度感应器所侦测的温度作为参考值，以调整加热器的温度，使热板、环边或端边的温度一致，能将放置于热板上烘烤的玻璃基板都能达到均匀受热。

主权项

一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其主要系由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为容槽状，底部设有一支撑底板，顶端面则利用上盖板将其封闭成一加热空间，而该腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，位于任一侧边开设有排风口，而该支撑底板上设有加热器，其系利用电热丝产生热源，并于加热器上设置一热板，该热板为具导热性之金属板，其特征在于：该热板上分成有复数个小分区，其系由复数个独立的加热器投影于热板背面所产生，使得加热器能对每一小分区各别进行独立加热，且于每一小分区内或对应小分区之加热器内设置有复数个温度感应器，以侦测每一小分区内之热板的温度，并以此参考数据来调整加热器的加热与否。