| 发明名称 |
抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案之制造方法 |
| 摘要 |
明系关于一种抗蚀剂组合物，其具有包括具有酸不稳定基团之结构单元之树脂；酸产生剂；及具有由式(a)表示之基团且不具有不饱和键之非离子型化合物：
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| 申请公布号 |
TW201616219 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
| 申请号 |
TW104127804 |
申请日期 |
2015.08.25 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
増山达郎;安江崇裕;市川幸司 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/038(2006.01);G03F7/38(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种抗蚀剂组合物，其包含具有由式(a)表示之基团且不具有不饱和键之非离子型化合物，包含具有酸不稳定基团之结构单元之树脂，及酸产生剂：
其中Xa及Xb各自独立地表示氧原子或硫原子，X1表示具有氟原子或C1至C6氟化烷基之二价C1至C12饱和烃基，且*表示结合位点。
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| 地址 |
日本 |
