被加工物之磨削方法

摘要

明之课题为提供一种可以抑制高度测定机构之数量增加之情形的被加工物之磨削方法。解决手段为被加工物之磨削方法具备保持步骤、高度测定步骤、以及磨削步骤。在保持步骤中，是透过支撑板将被加工物保持于保持机构上。在高度测定步骤中，是使用高度测定机构，并使接触针接触支撑板之上表面、和被加工物之背面。在高度测定步骤中，会使高度测定机构和保持机构相对移动，并以测定支撑板之上表面的高度的接触针来测定被加工物之背面的高度。在磨削步骤中，会根据在高度测定步骤所测定之高度而算出被加工物的厚度，并磨削被加工物直到所算出之被加工物的厚度成为所期望的厚度为止。

主权项

一种被加工物之磨削方法，是将由被加工物、和具备尺寸比该被加工物之尺寸更大的上表面且将被加工物固定在该上表面的支撑板所构成之被加工物单元的被加工物之上表面磨削以薄化的被加工物之磨削方法，其特征在于具备：保持步骤，透过该支撑板将被加工物保持于具有保持面的保持机构上；高度测定步骤，实施该保持步骤之后，利用使接触针接触测定对象物的表面以测定该测定对象物之高度的高度测定机构，使该接触针分别接触该保持机构所保持之该支撑板的未固定有被加工物之区域的上表面、和透过该支撑板以该保持机构保持之被加工物的上表面来测定高度；以及磨削步骤，实施该高度测定步骤之后，根据在该高度测定步骤所测得的高度算出被加工物的厚度，并以磨削机构将被加工物磨削到所算出的被加工物的厚度成为所期望的厚度为止，在该高度测定步骤中，是使该高度测定机构和该保持机构相对移动，并以测定该支撑板之上表面高度的该接触针测定被加工物之上表面的高度。