| 发明名称 |
基板载具之夹紧装置、开启和扣紧夹紧装置的方法与其对应之夹紧工具与夹紧配置 |
| 摘要 |
用以夹紧一待处理的基板(480)于一基板载具(500)中之一夹紧装置(100)、一夹紧工具(200)以及一夹紧配置(300)。夹紧装置包括一第一杠杆(110)和一第二杠杆(120)，其中第一杠杆(110)可移动地被支撑在一第一接头(115)，第二杠杆(120)可移动地被支撑在一第二接头(125)，且其中第一杠杆(110)和第二杠杆(120)系藉由一第一公共接头(140)可移动地彼此连接。第二杠杆(120)包括一夹紧部分(121)，夹紧部分系适用于针对待处理的基板被按压。第一杠杆(110)和第二杠杆(120)至少其中之一包括一接触部分(116; 126)，接触部分系用以提供功能性接触至一夹紧工具(200; 610)。夹紧工具适用于开启和扣紧夹紧装置。 |
| 申请公布号 |
TW201615323 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
| 申请号 |
TW104118745 |
申请日期 |
2015.06.10 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
波宁 安卓;亨特史豪特 莱纳 |
| 分类号 |
B23Q1/26(2006.01);B23Q1/76(2006.01);C23C16/54(2006.01) |
主分类号 |
B23Q1/26(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
祁明辉;林素华;涂绮玲 |
| 主权项 |
一种用于一处理设备之夹紧装置(100)，系用以夹紧一待处理的基板(480; 510)于一基板载具(500)中，包括： 一第一杠杆(110)和一第二杠杆(120)，其中该第一杠杆(110)系可移动地被支撑在一第一接头(115)，该第二杠杆(120)系可移动地被支撑在一第二接头(125)，且其中该第一杠杆(110)和该第二杠杆(120)系藉由一第一公共接头(140)可移动地彼此连接； 其中该第二杠杆(120)包括一夹紧部分(121)，该夹紧部分(121)系适用于针对该待处理的基板(480; 510)被按压； 其中该第一杠杆(110)和该第二杠杆(120)至少其中之一包括一接触部分(116; 126)，该接触部分(116; 126)系用以提供功能性接触至一夹紧工具(200; 610)。 |
| 地址 |
美国 |
